プラズマ発生用バイポーラ高圧パルス電源(SBP-10K-HF)

プラズマ発生用バイポーラ高圧パルス電源(SBP-10K-HF)
Bipolar High‑Voltage Pulse Power Supply for Plasma Generation (SBP‑10K‑HF)

製品概要

本装置は、0〜±10kV／50mA のパルス高電圧を出力する高周波高圧電源です。

出力波形は高電圧高速スイッチング方式を採用しており、立ち上り時間および立ち下り時間が 500nsec 以下の高速な矩形波となっています。発振周波数は 1kHz ～ 10kHz の範囲で可変です。

また、正極・負極それぞれに独立した直流電源を搭載しているため、出力電圧およびパルス幅を正負それぞれ独立して可変することが可能です。

特長

• 立ち上り／立ち下り時間の速い矩形波パルス出力が可能です。
• 正極・負極それぞれの出力電圧およびパルス幅を独立して可変できます。
• 発振周波数を可変でき、負荷条件に最適な出力が得られます。
• マッチングボックスが不要なため取り扱いが容易で、各種負荷に対してプラズマ発生が可能です。
• Duty 制御などの特注仕様にも対応いたします。

用途

大気圧プラズマ、真空プラズマ、オゾン発生器、スパッタリング等

仕様

出力波形例