真空対応静電電位センサ(KS-3101)

真空対応静電電位センサ(KS-3101)
Vacuum-compatible-electrostatic-potential-sensor(KS-3101)

KS-3101.jpg

 真空中では静電気を緩和するガス成分が希薄であるために、大気圧環境以上に静電気が深刻な生産障害の原因となります。

 真空対応静電電位センサは真空環境での使用に耐えうる材料や部材を使用し、真空内で生じる静電気の測定にご使用いただけるセンサです。真空工程での静電気の発生原因の特定や、静電電位の連続監視にご使用ください。

諸特性

大気圧、真空中でのリニアリティ

KS-3101_諸特性_Highレンジ.jpg
KS-3101_諸特性_Lowレンジ.jpg

グラフは真空チャンバ内で任意の電圧を印加した帯電板の電位をKS-3101で測定した結果です。異なる圧力環境下(真空下10-3Pa、大気圧下10+5Pa)であっても、校正することなく等しい測定値が得られます。

※このデータは実測値であり、保証値ではありません。

 真空対応静電電位センサによる真空チャンバへの影響の計測

●アウトガス分析比較

KS-3101_諸特性_アウトガス分析結果.jpg

センサから放出されるアウトガスの分析によると、ガスの主成分は水と微量の炭化水素によるものであることが確認されました。それぞれのピークはバックグラウンドで計測されたピークと共通であることから、環境中からセンサ表面に吸着したガスに由来すると考えられます。

●到達真空度の比較

KS-3101_諸特性_到達真空度の比較.jpg

排気装置:ターボ分子ポンプ TG220FCAB  ㈱大阪真空機器製作所製
排気速度:220 L/sec (N2)
チャンバサイズ:φ300 × L 300㎜

※このデータは実測値であり、保証値ではありません。 

仕様

型式 KS-3101
検出方式 振動型表面電位センサ
使用推奨真空度 105Pa(大気圧)、10-1~10-5Pa
測定範囲
HIGHレンジ:0~±20.0kV(測定距離100mm)
LOWレンジ :0~±2000V(測定距離10mm)
測定精度 ±10%以内
警報 検出センサ故障LED表示
使用環境 温度0~40℃、湿度65%以下(結露なきこと)
質量 約100g(ケーブル、制御ボックス含まず)
構成必需品
真空用ケーブル:KS-3101-C01(ケーブル長1m、延長可能)
制御ボックス   :KS-3101-B05(大気側ケーブル5M付、延長可能)
コントローラ   :KSD-0110またはKSD-0120
オプション 真空フランジ

構成

KS-3101構成図1.jpg

コントローラ

ksd-0110本体.jpg

タッチパネル、SDカード対応の高機能タイプ

KSD-0120本体のみ.jpg

視認性を重視したシンプルタイプ

※コントローラKSD-0110、KSD-0120の仕様はそれぞれのページでご確認ください。

寸法・各部の名称

寸法.jpg

① 測定部
② 零調整部
③ 外筐(ステンレス鏡面仕上げ)
④ 取り付けスペーサ(テフロン)
⑤ レンジ切替スイッチ
⑥ 動作・故障表示ランプ
⑦ 帯電表示ランプ(0、+、-)
⑧ 専用ケーブル(コネクタ付)