マイクロ波プラズマ除電処理システム(MPNS-01)

マイクロ波プラズマ除電処理システム(MPNS-01)
Microwave-plasma-static-elimination-system(MPNS-01)

高真空下中で静電気を除電可能

真空中では静電気を緩和するガス成分が希薄であるために、大気圧環境以上に静電気が深刻な生産障害の原因となります。マイクロ波プラズマ除電処理システムは従来困難であった高真空プロセスで除電することが可能です。

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小惑星探査機「はやぶさ2」のイオンエンジン技術を応用し、JAXA(宇宙航空研究開発機構)と共同研究し地上転用いたしました。

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概要

真空中では静電気を緩和するガス成分が希薄であるために、大気圧環境以上に静電気が深刻な生産障害の原因となり、一般的な静電気除去装置(イオナイザ) では同様にガス成分が希薄のため十分なイオンを生成することが出来ず除電を行うことが困難です。

マイクロ波プラズマ除電処理システムは、従来困難であった高真空プロセスで除電することが可能です。

システム全体構成

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イオン電流特性

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  • 測定されたイオン電流値はフィルムの搬送速度が1000m/minでも除電可能な値です。
  • 除電範囲は障害物が無ければ、2mはなれた場所でも除電できます。