ワイド電位センサ（KS-2100）

ワイド電位センサ（KS-2100）
Wide range electrostatic sensor (KS-2100)

特長

• アンプ部（駆動回路部）を検出部に内蔵したことにより安価でコンパクトになっております。
• 従来高価であった静電気監視システムを安価に構築できます。
• スイッチにより測定レンジを変更でき、低電位から高電位までワイドレンジの測定が可能です。
• 検出センサの故障表示LEDを装備し、外部に出力できます。

用途

• フラットパネルディスプレイ生産工程での帯電量監視。
• 半導体ウェハ帯電量監視。
• LSIのハンドリング中やプリント基板搬送中の帯電量監視。

仕様

寸法・各部の名称　（寸法単位［mm］）