リアルプラズマ（APG-500）

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リアルプラズマ（APG-500）
Real Plasma (APG-500)

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特長

リアルプラズマは高周波・高電圧による電気的エネルギーにより、放電ノズル内部で発生させたプラズマ状の電離気体を照射し処理対象物の表面改質ならびに有機物除去を行なうプラズマ処理装置です。プラズマは電気的にほぼ中性であるため処理基材への電気的ダメージ、熱的ダメージがなく、プリント配線基板や液晶パネル等、センシティブな基材の表面処理が可能です。　

プラズマとは

プラズマとは、固体・液体・気体に続く物質の第4の状態で、気体分子が電離し、電子と陽イオンに別れ、運動している状態といわれています。リアルプラズマは電気エネルギーを利用し、プラズマを発生させます。

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APG-500のプラズマ発生プロセス

 

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仕様

入力電源単相AC200V/220V、50/60Hz
電源容量1000VA
供給エア源150NL/min   0.5Mpa 以上  ※200L/min以上吐出できるオイルフリーのエア源
エア供給口φ10　ワンタッチ継ぎ手
処理幅24mm  （GAP 5mm エア使用時 ※処理対象物の材質･形状により変化します）
設置距離5～10mm (ノズル先端からワークまで）
フレーム温度68℃（アルコール温度計、2分間、Ta=21℃の場合）
処理対象物プラスチック、ガラス、金属、半導体、電子基板
寸法発振器 AGF-B20R250×180×300mm
プラズマユニット APG-500400×270×345mm
プラズマヘッド PH-500320×63×106mm
質量発振器 AGF-B20R11kg
プラズマユニット APG-5008.9kg
プラズマヘッド PH-5002.2kg
環境温度5℃～40℃、湿度17％～70％RH（結露なきこと）

 

リアルプラズマ　システム図（APG-500）

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