プラズマ発生用インパルス型高周波高圧電源(PHF-2K-P)

プラズマ発生用インパルス型高周波高圧電源(PHF-2K-P)
Impulse-type high-frequency high-voltage power supply for plasma generation (PHF-2K-P)

製品概要

本装置は、0〜±15kV の高電圧を出力する高周波高圧電源です。

出力波形は立ち上がり・立ち下がり信号の速いインパルス波となっており、発振周波数は 1kHz〜30kHz の範囲で可変可能です。

本装置は主に大気圧プラズマ発生用として開発されましたが、真空中のプラズマ発生用としても使用可能です（各種条件有）。

特長

• 立ち上がり／立ち下り時間の速いインパルス波形で出力します。
• 出力電圧および発振周波数の調整により、負荷条件に適した最適な出力設定が可能で、プラズマ状態も容易に確認できます。
• マッチングボックスが不要なため、各種負荷に対して簡単にプラズマを発生させることが可能です。
• 変調切替により連続／間欠の2種類の動作モードに対応し、間欠周波数モードでは熱に弱い基材への熱ダメージを抑制できます。

用途

大気圧プラズマ、真空プラズマ、オゾン発生器、スパッタリング等

仕様

型式	PHF-2K-P
出力電圧	0～±15kV
発振周波数	1kHz〜30kHz
出力波形	インパルス波
立ち上がり／立ち下がり時間	3μsec以下
間欠発振周波数	0.1kHz〜3kHz
出力容量	2kW
保護機能	過電流トリップ、過電力トリップ
高圧トランス	絶縁油式
電源入力	3相 200V 50/60Hz
消費電力	約3kVA
環境	温度 0～40℃、湿度 70%RH以下(結露なき事)
質量	本体部：約35kg、高圧トランス部：約20kg

出力波形例

±15kV時の波形（2000:1のプローブで測定）