Model KS-2100の仕様
●仕様
■表示部
型式
KS-2100
検出方式
振動型表面電位センサー
測定範囲
レンジ@ ±1〜±2000V
レンジA ±0.01〜±20.00kV
アナログ出力
0〜±5V
測定精度
±10%以内
測定基準距離
レンジ@ 10mm
レンジA 50mm
警報
検出センサー故障LED表示、外部出力
電源
DC12〜24V±5%
環境
温度0〜40℃、湿度65%RH以下(結露なきこと)
質量
約100g(ケーブル含まず)
付属品
専用ケーブル5m(最大100m迄可能)
●用途
・フラットパネルディスプレイ生産工程での帯電量監視。
・半導体ウェハー帯電量監視。
・LSIのハンドリング中やプリント基板搬送中の帯電量監視。
寸法・各部の名称
■寸法単位[mm]