2CH静電電位監視装置（KSD-0120）
特長
- 1台の制御器で最大2chのワイド電位センサ（KS-2100）を接続することができますので、安価に静電気監視システムが構築できます。
- センサ部が小型のため、各種製造装置内の狭い場所に設置でき、連続監視が可能です。
- 警報設定ができますので、設定した電位を超えた場合に、各種製造装置と連動することが可能です。
- 新開発の表面電位センサ故障診断回路を装備いたしましたので、衝撃等によるセンサ故障をすばやく確認し、外部に出力できます。
- イオナイザの効果確認、管理にも使用できます。
- レンジ切り替えにより、低電位から高電位までワイドレンジで測定可能です。
用途
- フラットパネルディスプレイ生産工程での帯電量監視。
- 半導体ウェハ帯電量監視。
- LSIのハンドリング中やプリント基板搬送中の帯電量監視。
構成
| 品目 | 形式 | 備考 |
|---|---|---|
| 本体 | KSD-0120 | |
| 取付金具 | 本体に付属 | |
| センサ | KS-2100 | オプション、2台迄使用可能 |
| 専用ACアダプタ | KSD-0120用ACアダプタ | オプション |
仕様
本体
| 型式 | KSD-0120 |
|---|---|
| 表示範囲 |
レンジ(1) ±1～±1999V レンジ(2) ±0.01～±19.99kV |
| アナログ出力 | 0～±5V |
| 制御設定 | 2チャンネル独立設定 |
| 制御出力 | オープンコレクタ（制御設定出力及びセンサ故障出力） |
| 電源 |
DC12～24Vまたは 専用ACアダプタ（AC100V／オプション） |
| 消費電流 | 500mA（DC12～24V） |
| 環境 | 温度0～40℃、湿度65％RH以下（結露なきこと） |
| 質量 | 約580g（取付金具含む） |
専用ACアダプタ（オプション）
| 型式 | KSD-0120用ACアダプタ |
|---|---|
| 入力電圧 | AC100V 50／60Hz |
| 出力電圧 | DC12V |
| ケーブル長 | 1580mm |
| 質量 | 約385g |
センサ（オプション）
| 型式 | KS-2100 |
|---|---|
| 検出方式 | 振動型表面電位センサ |
| 測定範囲 |
レンジ(1) ±1～±2000V レンジ(2) ±0.01～±20.00kV |
| アナログ出力 | 0～±5V |
| 測定精度 | ±10％以内 |
| 測定基準距離 |
レンジ(1) 10mm レンジ(2) 50mm |
| 警報 | 検出センサ故障LED表示、外部出力 |
| 電源 | KSD-0120より供給 |
| 環境 | 温度0～40℃、湿度65％RH以下（結露なきこと） |
| 質量 | 約100g（ケーブル含まず） |
| 付属品 | 専用ケーブル5m（最大100m迄延長可能） |
寸法・各部の名称 （寸法単位［mm］）
本体
センサ
